| 항목 | TOS9301 | TOS9301PD | TOS9303 | TOS9303LC | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| DC 출력부 | 출력 전압 범위 | 0.050 kV ~ 7.200 kV | ||||
| 분해능 | 1 V | |||||
| 설정 정확도 | ±(설정값의 1.2% + 0.02kV) | |||||
| 최대 정격 부하 *1 | 100 W (5 kV/20 mA, 7.2 kV/13.9 mA) | |||||
| 최대 정격 전류 | 20 mA | |||||
| 리플 | 7.2 kV 무부하 | 20 Vp-p (TYP) | ||||
| 최대 정격 부하 | 50 Vp-p (TYP) | |||||
| 전압 변동률 | 1% 이하 (최대 정격 부하 → 무부하) | |||||
| 단락 전류 | 100 mA(TYP)(200 mA peak) | |||||
| 방전 기능 | 시험 종료 시 강제 방전 (방전 저항 125kΩ) | |||||
| 시작 전압 (Start Voltage) | 시험 시작 시 전압 설정 가능 | |||||
| 설정범위 | 시험 전압의 1% ~ 99% | |||||
| 분해능 | 1% | |||||
| 출력 전압 감시 기능 | 출력 전압이 ±(설정값의 10% + 0.05 kV)를 초과할 경우, 출력이 차단되고 보호 기능이 작동함 | |||||
*1 연속으로 시험을 진행할 경우, 상한 판정 기준값 설정에 따라 출력 시간 제한 및 휴지 시간이 필요할 수 있습니다. *2 용량성 부하에 교류 전압을 인가하면, 부하의 용량값에 따라 무부하보다 출력 전압이 상승할 수 있습니다. 또한, 용량값에 전압 의존성이 있는 시료(세라믹 커패시터 등)를 부하로 사용한 경우, 파형에 왜곡이 발생할 수 있습니다. 단, 시험 전압이 1.5 kV인 경우에는 1000 pF 이하의 용량 영향은 무시할 수 있습니다. 그리고 본 기기의 고전압 전원부는 PWM 스위칭 방식이므로, 시험 전압이 500 V 이하일 경우 스위칭 노이즈 및 스파이크 노이즈의 비중이 커지며, 시험 전압이 낮아질수록 파형 왜곡도 커집니다.
