| 항목 | TOS9300 | TOS9301 | TOS9301PD | TOS9303 | TOS9303LC | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 판정 동작 | 판정 시 출력이 차단됩니다. 부저 음량은 PASS, FAIL 각각 개별적으로 0(OFF) ~ 10까지 설정 가능합니다. 자동시험에서는 프로그램 종료 시 판정에만 부저가 유효합니다. | ||||||
| Upper FAIL | 판정 방법 | 상한판정기준값(Upper) 이상의 저항값을 검출하면 UPPER FAIL 판정합니다. 전압상승시간(Rise Time) 중에는 판정하지 않습니다. | |||||
| 표시부 | 「Upper-FAIL」이 표시됩니다. | ||||||
| 부저 | ON | ||||||
| SIGNAL I/O | STOP 신호가 입력 될 때까지 U FAIL 신호가 연속적으로 출력됩니다. | ||||||
| Lower FAIL | 판정 방법 | 하한판정기준값(Lower) 이하의 저항값을 검출하면 LOWER FAIL 판정합니다. 판정대기시간(Judge Delay) 중에는 판정하지 않습니다. | |||||
| 표시부 | 「Lower-FAIL」가 표시 | ||||||
| 부저 | ON | ||||||
| SIGNAL I/O | STOP 신호가 입력 될 때까지 L FAIL 신호가 연속적으로 출력됩니다. | ||||||
| PASS | 판정 방법 | 시험시간을 경과하여 Upper-FAIL, Lower-FAIL이 아니면 PASS 판정. | |||||
| 표시부 | 「PASS」가 표시 | ||||||
| 부저 | ON(50 ms 고정) | ||||||
| SIGNAL I/O | Pass Hold에서 설정한 시간까지 PASS 신호가 출력됩니다. Pass Hold에서 Infinity를 설정한 경우에는 STOP 신호가 입력될 때까지 연속으로 PASS 신호가 출력됩니다. | ||||||
| 전압상승율판정동작 | 전압상승시간(Rise Time) 중에 전압상승율을 모니터링합니다. 판정지연시간의 자동설정(Delay Auto)이 ON이고 출력전압이 0.2 kV 이상인 경우에 유효합니다. 판정 시 출력이 차단됩니다. 부저 음량은 PASS, FAIL 각각 개별적으로 0(OFF)~10까지 설정 가능합니다. | ||||||
| dV/dt FAIL | 판정 방법 | 전압상승률(dV/dt)이 약 1V/s에 미달하는 경우에 판정합니다. | |||||
| 표시부 | 「Lower-FAIL(dV / dt)」이 표시됩니다 | ||||||
| 부저 | ON | ||||||
| SIGNAL I/O | STOP 신호가 입력 될 때까지 L FAIL 신호가 연속적으로 출력됩니다. | ||||||
| 상한판정기준값(Upper) 설정범위 | 0.001 MΩ ~ 100.000 GΩ (최대정격전류 이하의 범위에서), OFF. | ||||||
| 하한판정기준값(Lower) 설정범위 | 0.000 MΩ ~ 99.999 GΩ (최대정격전류 이하의 범위에서), OFF. 0.000으로 설정 시는 OFF와 동등합니다. | ||||||
| 정확도*1*2*3 (GND가 Guard인 경우) (i：측정전류) (R：측정저항) | 5 nA ≦ i ≦ 50 nA*4 | 500.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(15 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ：±(15 % of setting + 15 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ≦ 100.000 GΩ：±(20 % of setting + 210 MΩ) | |||||
| 50 nA ＜ i ≦ 100 nA*4 | 200.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(10 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ：±(10 % of setting + 15 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 50.000 GΩ：±(10 % of setting + 60 MΩ) 50.000 GΩ ≦ R ≦ 100.000 GΩ：±(20 % of setting + 210 MΩ) | ||||||
| 100 nA ＜ i ≦ 200 nA*5 | 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(7 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 2.000 GΩ：±(7 % of setting + 15 MΩ) 2.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ：±(7 % of setting + 20 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 50.000 GΩ：±(7 % of setting + 110 MΩ) | ||||||
| 200 nA ＜ i ≦ 1 µA*5 | 10.000 MΩ ≦ R ＜ 100.000 MΩ: ±(5 % of setting + 0.06 MΩ) 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ: ±(5 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ: ±(5 % of setting + 15 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 25.000 GΩ: ±(5 % of setting + 60 MΩ) | ||||||
| 1 µA ＜ i ≦ 1 mA*5 | 0.001 MΩ ≦ R ＜ 10.000 MΩ：±(2 % of setting + 0.013 MΩ) 10.000 MΩ ≦ R ＜ 100.000 MΩ：±(2 % of setting + 0.04 MΩ) 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(2 % of setting + 0.31 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 5.000 GΩ：±(2 % of setting + 13 MΩ) | ||||||
| 정확도*6 (GND가 Low인 경우) (i：측정전류) (R：측정저항) | 5 nA ≦ i ≦ 50 nA*4 | 500.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(25 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ： ±(25 % of setting + 15 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ≦ 100.000 GΩ： ±(30 % of setting + 210 MΩ) | |||||
| 50 nA ＜ i ≦ 100 nA*4 | 200.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(20 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ：±(20 % of setting + 15 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 50.000 GΩ: ±(20 % of setting + 60 MΩ) 50.000 GΩ ≦ R ≦ 100.000 GΩ：±(30 % of setting + 210 MΩ) | ||||||
| 100 nA ＜ i ≦ 200 nA*5 | 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(10 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 2.000 GΩ：±(10 % of setting + 15 MΩ) 2.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ：±(10 % of setting + 20 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 50.000 GΩ：±(10 % of setting + 110 MΩ) | ||||||
| 200 nA ＜ i ≦ 1 µA*5 | 10.000 MΩ ≦ R ＜ 100.000 MΩ：±(5 % of setting + 0.06 MΩ) 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(5 % of setting + 0.51 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ：±(5 % of setting + 15 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 25.000 GΩ：±(5 % of setting + 60 MΩ) | ||||||
| 1 µA ＜ i ≦ 1 mA*5 | 0.001 MΩ ≦ R ＜ 10.000 MΩ：±(2 % of setting + 0.013 MΩ) 10.000 MΩ ≦ R ＜ 100.000 MΩ：±(2 % of setting + 0.04 MΩ) 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ：±(2 % of setting + 0.31 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 5.000 GΩ：±(2 % of setting + 13 MΩ) | ||||||
*1 200μA 이하의 판정에는 Rise Time이 종료 후 3초 이상의 시간이 필요합니다. Low Pass Filter가 ON인 경우의 판정에는 Rise Time이 종료 후 10초 이상의 시간이 필요합니다. *2 습도 70%rh 이하(결로 없음), 테스트 리드의 흔들림 등의 외란이 없는 경우. *3 다습환경 하에서 접지방식(GND)을 Low로 설정한 경우에는 본 제품 내부의 고전압 배선부 및 본 제품과 EUT 간의 고전압 배선부에서 접지로 누설전류가 발생합니다. 이 누설전류는 옵션인 고전압 스캐너 TOS9320의 사용이나 배선상황에 따라 수 nA~수 μA가 되어 측정정확도에 크게 영향을 미칩니다. 오프셋을 유효하게 하여 측정함으로써 누설전류의 영향을 저감시킬 수 있습니다. *4 100V 이하의 측정 시는 정확도에 10%를 가산. *5 100V 이하의 측정 시는 정확도에 5%를 가산. *6 습도 50%rh 이상의 환경 하에서는 측정전류를 100nA 이상으로 한정(결로 없음), 테스트 리드의 흔들림 등의 외란이 없고 오프셋이 유효한 경우.
