| 항목 | TOS9300 | TOS9301 | TOS9301PD | TOS9303 | TOS9303LC | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 전압계 | 측정 범위 | 음극: 0 Vdc ~ -1.2 kVdc, 양극: 0 Vdc ~ 7.5 kVdc | |||||
| 분해능 | 0.1 V | ||||||
| 정확도 | 음극: ±(판독값의 1% + 0.001 kV), 양극: ±(판독값의 1.2% + 0.001 kV) | ||||||
| 저항계 | 측정 범위 | 0.001 MΩ ~ 100.0 GΩ(최대 정격 전류의 1 mA ~ 5 nA 범위에서) | |||||
| 정확도 *1 *2 (GND가 Guard인 경우) (i: 측정 전류) (R: 측정 저항) | 5 nA ≦ i ≦ 50 nA*3 | 500.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ: ±(판독값의 15% + 0.5 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ: ±(판독값의 15% + 5 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ≦ 100.000 GΩ: ±(판독값의 20% + 200MΩ) | |||||
| 50 nA ＜ i ≦ 100 nA*3 | 200.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ: ±(판독값의 10% + 0.5 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ: ±(판독값의 10% + 5 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 50.000 GΩ: ±(판독값의 10% + 50 MΩ) 50.000 GΩ ≦ R ≦ 100.000 GΩ: ±(판독값의 20% + 200 MΩ) | ||||||
| 100 nA ＜ i ≦ 200 nA*4 | 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ: ±(판독값의 7% + 0.5 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 2.000 GΩ: ±(판독값의 7% + 5 MΩ) 2.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ: ±(판독값의 7% + 10 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 50.000 GΩ: ±(판독값의 7% + 100 MΩ) | ||||||
| 200 nA ＜ i ≦ 1 µA*4 | 10.000 MΩ ≦ R ＜ 100.000 MΩ: ±(판독값의 5% + 0.05 MΩ) 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ: ±(판독값의 5% + 0.5 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ: ±(판독값의 5% + 5 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 25.000 GΩ: ±(판독값의 5% + 50 MΩ) | ||||||
| 1 µA ＜ i ≦ 1 mA*4 | 0.001 MΩ ≦ R ＜ 10.000 MΩ: ±(판독값의 2% + 0.003 MΩ) 10.000 MΩ ≦ R ＜ 100.000 MΩ: ±(판독값의 2% + 0.03 MΩ) 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ: ±(판독값의 2% + 0.3 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 5.000 GΩ: ±(판독값의 2% + 3 MΩ) | ||||||
| 정확도 *5 (GND가 Low인 경우) (i: 측정 전류) (R: 측정 저항) | 5 nA ≦ i ≦ 50 nA*3 | 500.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ: ±(판독값의 25% + 0.5 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ: ±(판독값의 25% + 5 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ≦ 100.000 GΩ: ±(판독값의 30% + 200 MΩ) | |||||
| 50 nA ＜ i ≦ 100 nA*3 | 200.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ: ±(판독값의 20% + 0.5 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ: ±(판독값의 20% + 5 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 50.000 GΩ: ±(판독값의 20% + 50 MΩ) 50.000 GΩ ≦ R ≦ 100.000 GΩ: ±(판독값의 30% + 200 MΩ) | ||||||
| 100 nA ＜ i ≦ 200 nA*4 | 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ: ±(판독값의 10% + 0.5 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 2.000 GΩ: ±(판독값의 10% + 5 MΩ) 2.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ: ±(판독값의 10% + 10 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 50.000 GΩ: ±(판독값의 10% + 100 MΩ) | ||||||
| 200 nA ＜ i ≦ 1 µA*4 | 10.000 MΩ ≦ R ＜ 100.000 MΩ: ±(판독값의 5% + 0.05 MΩ) 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ: ±(판독값의 5% + 0.5 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 10.000 GΩ: ±(판독값의 5% + 5 MΩ) 10.000 GΩ ≦ R ＜ 25.000 GΩ: ±(판독값의 5% + 50 MΩ) | ||||||
| 1 µA ＜ i ≦ 1 mA*4 | 0.001 MΩ ≦ R ＜ 10.000 MΩ: ±(판독값의 2% + 0.003 MΩ) 10.000 MΩ ≦ R ＜ 100.000 MΩ: ±(판독값의 2% + 0.03 MΩ) 100.000 MΩ ≦ R ＜ 1.000 GΩ: ±(판독값의 2% + 0.3 MΩ) 1.000 GΩ ≦ R ＜ 5.000 GΩ: ±(판독값의 2% + 3 MΩ) | ||||||
| 홀드 기능 | 시험 종료 시의 측정 저항값을 PASS 판정 표시 중에 유지 | ||||||
| 오프셋 캔슬 기능 | 출력 케이블 간 등, 측정에 불필요한 절연 저항을 최대 2000 GΩ까지 캔슬. OFF 기능 있음. | ||||||
*1 습도 70%rh 이하(결로 없음), 테스트 리드의 흔들림 등의 외란이 없는 경우. *2 다습 환경 하에서 접지 방식(GND)을 Low로 설정한 경우에는, 본 제품 내부의 고전압 배선부, 및 본 제품과 EUT 간의 고전압 배선부에서 접지에 누설 전류가 발생합니다. 이 누설 전류는, 옵션의 고전압 스캐너 TOS9320의 사용이나 배선 상황에 따라 수 nA~수십 µA가 되어, 측정 정확도에 크게 영향을 줍니다. 오프셋을 유효하게 하여 측정함으로써, 누설 전류의 영향을 저감시킬 수 있습니다. *3 100V 이하의 측정 시는 정확도에 10%를 가산. *4 100V 이하의 측정 시는 정확도에 5%를 가산. *5 습도 50%rh 이상의 환경 하에서는 측정 전류를 100nA 이상으로 한정(결로 없음), 테스트 리드의 흔들림 등의 외란이 없고, 오프셋이 유효한 경우.
